# Sputtertargets

Ein komplettes Programm an Sputtertargets, von technischer Reinheit bis ultrarein, passend für jede Anlage oder in Sonderabmessungen.

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## Reinmetalltargets

Al, Sb, Bi, B, Cd, Ce, Cr, Co, Cu, Dy, Er, Eu, Gd, Ge, Au, C, Hf, Ho, Ir, In, Fe, La, Pb, Lu, Mn, Mo, Mg, Nd, Nb, Ni, Pd, Pt, Pr, Re, Ru, Sm, Sc, Se, Si, Ag, Ta, Tb, Te, Sn, Tm, Ti, W, V, Yb, Y, Zr, Zn.

## Legierungstargets

AlCu, AlCr, AlMg, AlSi, CoCr, CoCrMo, CoFe, CoFeB, CoNi, CoPt, CrSi, CuGa, CuIn, CuNi, IrMn, MoSi, NiAl, NiCr, NiFe, NiTi, SmCo, TiAl, TiNi, WRe, WTi, ZrAl sowie kundenspezifische Zusammensetzungen.

## Keramiktargets

Boride: CrB₂, HfB₂, LaB₆, TiB₂, ZrB₂. Carbide: B₄C, Cr₃C₂, HfC, SiC, TaC, TiC, WC, ZrC. Nitride: AlN, BN, GaN, HfN, Si₃N₄, TaN, TiN, ZrN.

## Oxidtargets

Al₂O₃, BaTiO₃, CeO₂, Cr₂O₃, HfO₂, In₂O₃, ITO, Fe₂O₃, MgO, Nd₂O₃, SiO₂, SrTiO₃, Ta₂O₅, TiO₂, SnO₂, WO₃, Y₂O₃, ZnO, ZrO₂ und weitere.

## Selenide, Sulfide, Telluride, Fluoride

Bi₂Se₃, CdSe, ZnSe, MoSe₂, CdS, MoS₂, ZnS, Bi₂Te₃, CdTe, GeTe, PbTe, AlF₃, CaF₂, MgF₂, YF₃ und weitere.

## Auf Bestellung gefertigt

AZO, Cr-SiO, CIGS, ITO, IGZO, GaAs, GaP, GaSb, InSb, InAs, InP, LSMO, YBCO, LCMO, YSZ, GeSbTe und weitere.

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